実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の技術関連ブログ(2016年)

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

技術関連2016

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2016.04.28 [ ご紹介 第2弾-小型スパッタ装置 ]

前回の 「ご紹介第1弾-インターロックバルブ」 からもう2ヶ月半・・・
ずいぶん暖かくなりましたね。 梅雨までのこの短い期間は、出かけやすく家でも過ごしやすい気温で私はとても好きです。
そして、第2弾もお付き合い下さい。

「このスペースに収まる装置がほしい」というご要望に応えるべく、 アリオスでは 限られたスペースにも設置できる小型のコンポーネント・装置づくりを心がけています。
そのため、製品紹介ページには超小型回転導入機や小型マイクロ波イオン源などなど、名称に“小型”とつくものが多いです。

第2弾はそんな「小型~」という製品の中でも、最近お問合せ頂くことが多い「小型スパッタ装置」をご紹介させて頂きます。
http://www.arios.co.jp/products/ss-dc.html

スパッタ(=スパッタリング) は真空内で行う薄膜作製法の一つで、蒸着法に比べ付着力の強い膜を成膜できます。
そんなスパッタができる小型な装置が「小型スパッタ装置」です。
小型スパッタ装置標準仕様の一例
[寸法&仕様一例]

上の図はあくまで標準仕様ですが、横540mm、奥行き600mm、高さ1280mmのスペースがあれば設置可能です。
床面積でいえば A4用紙6枚分のスペースがあれば置けます ので、ぜひ下の図のようにA4用紙を並べてスペースを確認してみて下さい!
アリオスの小型スパッタ装置はA4用紙6枚の小さなスペースに設置できるほど小型!
 (※この図は原寸大ではありません)

カソードは磁場により効率的にスパッタができるマグネトロンカソードを採用しています。
1インチカソードなら最大3基まで小型スパッタ装置に搭載可能です。
スパッタ装置に搭載しているカソード(1インチ&2インチ)
[左:2インチカソード 右:1インチカソード]

小型スパッタ装置の紹介は以上です。

製品ページには掲載していませんが、高真空中で高品質な成膜ができるイオンビームスパッタ装置なども製作しています。
付けたい膜やご予算などから最適な装置構成・成膜方法をご提案致しますので、お手伝いできることがございましたらご連絡下さい。(お問合せ または 042-546-4811)

(営業技術部 N.M)
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2016.03.22 [ オリジナル技術 ]

弊社では、お客様の研究・開発のお手伝いを行うため、プラズマ技術をベースにCVD、スパッタリング、大気圧プラズマ装置等を使い、装置開発前の予備実験サービスも承っております。

窒化や酸化処理、粉末材料の改質、CVD成膜等といった表面処理全般における新規開発を承ります。

お引き合いを頂いた新規案件では、数名でプロジェクトを立ち上げ実験を進めますが、当然、機密保持契約等により、お客様の情報は厳重に管理されますのでご安心下さい。

幅広型大気圧プラズマリアクター 昨年より 大気圧プラズマ液中プラズマ のお問い合わせを多く頂いており、しばらく眠っていた幅広型大気圧リアクターを再度立ち上げました。実験機のバラックですが。
このリアクターは、弊社のオリジナル技術を用いたマイクロ波による無電極放電となっており、しかも窒素100%の連続運転が可能です。

写真は約10cm幅のプラズマですが、さらに幅が広いタイプ も御座います。

只今、この装置で行えるアプリケーション開発が 最重要課題 となっております。

ご興味を頂きましたらお問い合わせ下さい。


長年にわたり研究開発のお手伝いを続けた弊社ならではの技術力を活かし、お客様の研究開発スピードの向上に貢献いたしますので、まずはご相談ください。

(営業技術部 T.O)
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2016.02.12 [ ご紹介 第1弾-インターロックバルブ ]

営業技術部N.Mです。
営業技術部へ異動して、早10ヶ月が経ちます。
まだまだ分からない事ばかりで日々勉強の毎日です。
そんな私の勉強も兼ね、皆様にアリオスの製品やものづくりについて少しずつ紹介していけたらと思います。ぜひお付き合い下さい。

第1弾ということで、アリオス独自の製品 「インターロックバルブILV-01シリーズ」 を紹介させて頂きます。
http://www.arios.co.jp/products/ilv.html

インターロックバルブは面白い動きをするバルブです。

面白い動きをするインターロックバルブ
何が面白いのか・・・手動なのに、いざっという時は自動で動く のです。
通常は手動バルブとしてお使い頂け、ポンプ電源と接続するとポンプの停止と同時にバルブを自動でクローズ。
ポンプ電源以外の電源と接続すると、停電時などで電源が落ちると同時にバルブを自動でクローズ。
なかなか空気の読めるバルブですね。

ただベント機能は設けていません。より効果的な安全対策として、アイソレートバルブや タイミングリークバルブ などのベントバルブを下の図のように排気系に繋いで頂くと、 ロータリーポンプからのオイルバックを防ぐことができ、オススメです。
安全対策一例

そしてこのバルブ、リークディテクタの派生技術として開発したものなのです!
ブログ 「Heリークディテクタ」 を既に読んで下さった方はご存知かもしれませんが、下の写真の試作機Heリークディデクタにもちゃんと組み込んでいます。
社内機でもちゃんと使っています
ちなみに、写真の通りインターロックバルブの頭部分は 当初黒 でした。色についても話し合いと試作を重ね、その結果今の緑色となりました。

インターロックバルブの紹介は以上です。

インターロックバルブをはじめ、一部規格品はオンラインからの購入も可能です。 これからも皆様のお役に立てるものづくりのため、誠心誠意努めて参りますので、どうぞよろしくお願いします。
また、第2弾も楽しみにして頂けますと幸いです。

(営業技術部 N.M)