超高真空に追い込むには手を抜かずに一つ一つの作業を積み重ねていくことが重要です。
当社製超高真空チャンバーは材料の選択、溶接の手法、表面処理を追求し、ガス放出の極めて少ないクリーンな真空が得られます。様々な用途向けに自由な設計が可能です。
お客様のニーズに最適な形に設計、製造致します。
また非磁性、軽量のニーズ向けに100％チタン製チャンバーを開発しました。
超高真空では超高真空の定義や圧力について簡単に説明しております。ぜひご併せてご覧下さい。
| 材料 | SUS304、SUS316L、チタン |
| フランジ | CFフランジ、JISフランジ、KF(NW)フランジ |
| 溶接 | TIG溶接 |
| 脱ガス処理 | 必要に応じて、真空加熱による脱ガス処理を行います。 |
| 表面処理 | 電解研磨処理が標準です。 |
| ベーキングヒーター | 必要に応じてシースヒーター、熱電対を取り付けます。 |
必要なポート数、大きさ等をお知らせ下さい。速やかにお見積もり致します。
※標準仕様以外にも、要求仕様に応じて設計製作致します。
ぜひ一度お問い合わせ下さい。
規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。
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