アリオス株式会社 メンテナンス・改造

メンテナンス・改造

概要

アリオスではお客様の装置のメンテナンスや改造を承っております。
真空・プラズマ装置、半導体製造装置、プラズマ源等のコンポーネントのメンテナンス・改造など何でもご相談下さい。
装置移設の時期に合わせた作業も承っております。
実際にご相談頂いた事例をアリオスのソリューションに掲載しています。是非ご覧下さい。

メンテナンス及び改造例

装置排気系改造	排気速度のアップ、排気系のオイルフリー化、ベーキングヒーター、シュラウドなど追加
装置のグレードアップ	バルブの自動シーケンス制御、ロードロック室の追加、 試料ホルダーの基板サイズや温度制御範囲の拡大、運動自由度アップ
オーバーホール	チャンバー及びコンポーネントの洗浄及びオーバーホール、 仕様変更、真空到達速度、到達真空度の向上を目的としたオーバーホール、 Ⅱ-Ⅵ族用MBE装置をオーバーホールして、Ⅲ-Ⅴ族用への変更など

上記のメンテナンス及び改造例はほんの一部です。装置は国内メーカー、海外メーカーのほとんどに対応できます。
その他様々なご要望に応じておりますので、ぜひ一度お問い合わせ下さい。