アリオス株式会社 簡易型XY機構

簡易型XY機構 SXYシリーズ

SXY 70070	トランスファーロッドと組み合わせ

概要

2つのフランジ間で、それぞれの軸中心のオフセット及び±3°の角度調整が可能な部品です。 本機は簡易型のXY機構にチルト調整機構を組み合わせています。調整は大気側で行えます。トランスファーロッドの位置調整用に最適で、全金属封止構造のため、超高真空装置にもお使いいただけます。
本SXYシリーズは角度調整が可能ですが、マイクロメーターを搭載していない為、精密な位置調整にはXYZステージをご利用ください。

特徴

1. オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
2. MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空装置用に最適です。
3. φ70～φ203CFまで対応しています。
4. 4本のロッドを調整することにより、チルト調整が可能です。
5. トランスファーロッド、超小型回転導入機、直線導入機等と組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が経済的に行えます。

仕様

参考資料

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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