排気セット｜アリオス株式会社

排気セット MVPS

本ユニットは、ターボ分子ポンプ及びあら引きポンプを搭載した移動式排気セットです。本セット1台で、真空容器を大気から高真空にすることができます。補助ポンプとしてスクロールポンプを使用していますので、標準でオイルフリー仕様となっており、真空容器内が油汚染しないクリーンな排気が行えます。

ターボ分子ポンプ	排気速度： 220 L/sec (N₂ 、保護金網付き) 到達圧力： 1×10^-5 Pａ以下 (ポンプ単体での圧力) 制御電源：デジタルコントロールによる監視・保護機能搭載
スクロールポンプ	排気速度： 250 L/min 到達圧力： 1.6×10^-2 Pa 以下 (ポンプ単体での圧力) 電動機出力： 0.4 kW
排気コントローラ	制御方式：シーケンサーによるプログラム動作制御方法：排気ポンプ、真空バルブの状態監視を行い、操作の可否を実行安全対策：サーキットプロテクタによる過電流の防止、サーマルリレーによるモーター過負荷運転の防止、状態監視によるターボ分子ポンプ、スクロールポンプの破損防止外部出力：リレー接点によるベーキング許可信号
用力	電源：単相 200V/15A (最大) 圧縮空気：圧力 0.4～0.6 MPa (接続径： Rc 1/4 (使用時))
寸法、重量	本体 (530mm×650mm H1200mm)、約60kg

※標準仕様以外にも、要求仕様に応じて設計製作致します。
→ 研究開発受託業務・コンサルティング、アリオスのソリューション

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。