実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社 技術相談室

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

技術相談室

真空、プラズマ、マイクロ波、プラズマ計測に関する疑問や課題はありませんか。
ここでは、プラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスが、各種ご相談にお答えしています。
ご相談・ご質問はお問い合わせより募集しています。お寄せいただいた内容について、みなさまの秘密は堅く守ります。

用語集

フレッシュマンのための真空・プラズマ用語集

ラングミュアプローブ(プラズマ診断)Q&A

Q1:プローブを入れることによって、プラズマに影響はないのですか?
Q2:エッチング装置のプラズマ測定に使えますか?
Q3:製膜装置のプラズマ測定に使えますか?
Q4:RF (高周波)あるいは LF (低周波)で励起したプラズマのパラメータ測定は出来ますか?
Q5:RFでプラズマを励起する場合、ラングミュアプローブの特性はどのように変化しますか?
Q6:直流プラズマの測定は出来ますか?
Q7:V-I 特性を測定したら、電子電流流入領域(指数領域)が二つあるように見えます。
Q8:電子密度、電子温度を測定するのと同様の方法でイオン密度、イオン温度を測定できませんか?
Q9:ECRなど磁界が印加されているプラズマの測定は出来ますか?
Q10:V-I特性を測定しましたが、電子飽和領域の変曲点、すなわちプラズマ電位がありません。
Q11:大気圧プラズマをラングミュアプローブで測定すること可能ですか。

マイクロ波Q&A

Q1:導波管の形状が、WRJ-2 でも WST-AD でもありません。
Q2:試料に対し、マイクロ波磁場のみを印加したのです。電界はなるべく小さくしたい。
Q3:水中でのマイクロ波の速度はどれくらいですか?
Q4:反射電力がゼロになりません。
Q5:マイクロ波電源は各種ありますが、特徴を教えてください。

プラズマQ&A

Q1:プラズマをもっと簡単に測定したい。
Q2:プラズマが点火しません。
Q3:プラズマは点火していますが、プロセスが進行しなくなりました。エッチングできません。デポできません。
Q4:プラズマからのラジカル、イオン、紫外線などを選択して使いたいのですが、どのような方法がありますか。

液中プラズマQ&A

Q1:液中プラズマでナノ粒子が作成できる原理は?
Q2:ナノ粒子が凝集してしまいませんか?
Q3:ナノ粒子製造法として、液中プラズマのメリットは?
Q4:マイクロ波は危険ではありませんか?
Q5:電極金属がコンタミしませんか?
Q6:デモ可能ですか?サンプル作成をお願いできますか?貸し出しできますか?
Q7:ナノ粒子製造以外にどんなことが出来ますか?
Q8:粒径制御は出来ますか?