アリオス株式会社 RF電源


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RF電源 RPシリーズ

RF電源 RPシリーズ

概要

RPシリーズはソリッドステート型高性能高周波電源で、150W/300W/500W/1kWの4タイプをラインアップしています。
自動マッチングボックスとの組み合わせにより、RFスパッタリングやプラズマCVDなどのプラズマ発生用に最適な機能を有しています。
各種オプションとの組み合わせにより、手動タイプの実験用プラズマ源から完全自動制御プラズマ源まで広範囲な用途にご使用頂けます。

特徴

RF電源

  1. オール・ソリッドステート
  2. 強力なファンによる強制空冷
  3. 高許容反射電源
  4. リニアな出力制御
  5. 高電力で長時間安定動作
  6. コンパクト軽量

M-BOX

  1. 高速自動整合
  2. 広範囲インピーダンスに対応

仕様

本体仕様

型式 RP-151 RP-301 RP-502 RP-1K02
周波数 13.56MHz ± 1kHz
出力電力 5～150W
150W連続		 10～300W
300W連続		 0～500W
500W連続		 10～1kW
1kW連続
出力インピーダンス 50Ω （150W･300W BNC／500W･1kW N型）
電源入力 単相AC100～240V（内部設定） 三相AC200～260V
消費電力 250W最大 450W最大 750W最大 1.5kW最大
出力表示モニタ出力 デジタル表示
0～5V DCリニア出力
冷却方式 強制空冷
保護機能 ・過負荷保護機能
・高反射による出力制限
・外部インターロック
質量 2.7 kg 2.9 kg 5 kg 15 kg
リモート出力制御 可
外観寸法図 外観寸法図 外観寸法図 外観寸法図 外観寸法図

M-BOX 仕様

型式 MB-302 MB-502 MB-1K02
周波数 13.56MHz ± 1kHz
電力 300W 500W 1000W
インピーダンス 3～40Ω 3～40Ω 1～30Ω
整合モード 自動又は手動切替
電源 DC 12V DC 24V
冷却方式 自然 強制空冷
オプション － ・リモコンユニット
・AC-DC電源ユニット（AC100～240V→DC24V 2A）
※M-BOXの外観寸法については、お問い合わせください。

参考資料

製品カタログ
ダウンロード(PDF:550KB)

システム構成

system

標準構成

オプション

RF制御ソフト PCにより、RF電源とマッチングボックスを制御し、プラズマを精密コントロールします。
ケーブル延長 電源本体、マッチングボックス間の出力、コントロールケーブルの延長

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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