アリオス株式会社 製品紹介

製品紹介

装置

単体(スタンドアローン)あるいは、他の装置と連携して動作するものを装置としております。
基本的に1から作りますので様々なカスタマイズが可能です。

UHVPS

超高真空排気装置
[ UHVPS ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
MBE

MBE装置
 

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
MiPC-1000

マイクロ波プラズマ実験装置
[ MiPC-1000 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
RFPC-550

RFプラズマ実験装置
[ RFPC-550 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
MP-DCVD

ダイヤモンド合成用MP-CVD装置
 

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
HFCVD

ダイヤモンド合成用HFCVD装置
[ HFCVD-6F ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
SS-DC

小型スパッタ装置
[ SS-DC・RF301 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
PCVD-R100

プラズマCVD実験装置
[ PCVD-R100 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
ATMP-1000

大気圧プラズマ実験装置
[ ATMP-1000 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
DKHS

ダイヤモンド基板用
ヘテロエピ成長装置

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
SPAT

スパッタ装置

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
ANEAL

真空アニール装置

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
space-chamber

スペースチャンバー

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
as

エアロゾルサンプラー
[ ASシリーズ ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
as

昇温脱離ガス分析装置

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
as

粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
as

真空フォトルミネッセンス評価装置

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド

ユニット

装置や真空チャンバーに取り付けて、プロセスに重要な役割を果たすものをユニットとしています。
各種プラズマ源、成膜あるいは計測装置などがこれに該当します。
ご使用にあたり真空度などチャンバー側に制約がある場合があります。

EMRS-211Q

グリッドレスイオン源
[ GLISシリーズ ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
EMRS-211Q

マイクロ波ラジカル源
[ EMRS-211Q ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
EMIS-221C

マイクロ波イオン源
[ EMIS-221C ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
EMIS-111Q

小型マイクロ波イオン源
[ EMIS-111Q ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
SMPS-201

超小型マイクロ波プラズマ源
[ SMPS-201 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
ERFS-501

RFプラズマ源
[ ERFS-501 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
SRPS

小型RFプラズマ源
[ SRPS-101 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
IRFS-301

RFラジカルビーム源
[ IRFS-301 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
IRFS-504

RFラジカルビーム源
[ IRFS-504 ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
ACC

分子線セル
[ ACCシリーズ ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
SSEB

EB蒸着源
[ SSEBシリーズ ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
DCG

2kW E型電子銃
 

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
MVPS

排気セット
[ MVPS ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
PARTS

導波管部品
 

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド
TSTB-201A

同軸用スリースタブチューナー
[ TSTB-201A ]

  • 成膜
  • MBE
  • プラズマ
  • 真空
  • 高周波
  • 分析・計測
  • 表面処理・改質
  • カーボン・ダイヤモンド

コンポーネンツ

回転導入機やビューポートなど、プロセスに補助的な役割を担う部品類です。

RFT

超小型回転導入機
[ RFTシリーズ ]

SF

ビューポートシャッター
[ SFシリーズ ]

ED

ロードロックハッチ
[ EDシリーズ ]

SXY

簡易型XY機構
[ SXYシリーズ ]

LMT

Zステージ
[ LMTシリーズ ]

XYZ

XYZステージ
[ XYZシリーズ ]

TR

トランスファーロッド
[ TRシリーズ ]

2TRW

チャッキングトランスファー
[ 2TRWシリーズ ]

TLV

タイミングリークバルブ
[ TLVシリーズ ]

ILV

インターロックバルブ
[ ILVシリーズ ]

chamber

超高真空チャンバー
 

分析・計測

装置や真空チャンバーに取り付けて、内部の分析・計測を行うユニット群です。
ご使用にあたり真空度などチャンバー側に制約がある場合があります。

LPM

シングルラングミュアプローブ
[ LPMシリーズ ]

MLPM

マルチポイント
ラングミュアプローブ

BFM

ビームフラックスモニター
[ BFM-2F01 ]

RHEED

RHEEDシステム
 

SCREEN

RHEEDスクリーン
[ SGシリーズ ]

サービス

ordermade

オーダーメイド

mainte

メンテナンス・改造

isetsu

各種装置移設

itaku

研究開発受託業務・コンサルティング

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