実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社 製品紹介

 



製品紹介

装置

単体(スタンドアローン)あるいは、他の装置と連携して動作するものを装置としております。
基本的に1から作りますので様々なカスタマイズが可能です。

UHVPS

超高真空排気装置
[ UHVPS ]

MBE

MBE装置
 

MiPC-1000

マイクロ波プラズマ実験装置
[ MiPC-1000 ]

RFPC-550

RFプラズマ実験装置
[ RFPC-550 ]

MP-DCVD

ダイヤモンド合成用MP-CVD装置
 

HFCVD

ダイヤモンド合成用HFCVD装置
[ HFCVD-6F ]

SS-DC

小型スパッタ装置
[ SS-DC・RF30 ]

PCVD-R100

プラズマCVD実験装置
[ PCVD-R100 ]

ATMP-1000

大気圧プラズマ実験装置
[ ATMP-1000 ]

DKHS

ダイヤモンド基板用
ヘテロエピ成長装置

SPAT

スパッタ装置

ANEAL

真空アニール装置

ユニット

装置や真空チャンバーに取り付けて、プロセスに重要な役割を果たすものをユニットとしています。
各種プラズマ源、成膜あるいは計測装置などがこれに該当します。
ご使用にあたり真空度などチャンバー側に制約がある場合があります。

EMRS-211Q

マイクロ波ラジカル源
[ EMRS-211Q ]

EMIS-221C

マイクロ波イオン源
[ EMIS-221C ]

EMIS-111Q

小型マイクロ波イオン源
[ EMIS-111Q ]

SMPS-201

超小型マイクロ波プラズマ源
[ SMPS-201 ]

ERFS-501

RFプラズマ源
[ ERFS-501 ]

SRPS

小型RFプラズマ源
[ SRPS-101 ]

IRFS-301

RFラジカルビーム源
[ IRFS-301 ]

IRFS-504

RFラジカルビーム源
[ IRFS-504 ]

ACC

分子線セル
[ ACCシリーズ ]

SSEB

EB蒸着源
[ SSEBシリーズ ]

DCG

2kW E型電子銃
 

MVPS

排気セット
[ MVPS ]

PARTS

導波管部品
 

TSTB-201A

同軸用スリースタブチューナー
[ TSTB-201A ]

コンポーネンツ

回転導入機やビューポートなど、プロセスに補助的な役割を担う部品類です。

RFT

超小型回転導入機
[ RFTシリーズ ]

SF

ビューポートシャッター
[ SFシリーズ ]

ED

ロードロックハッチ
[ EDシリーズ ]

SXY

簡易型XY機構
[ SXYシリーズ ]

LMT

Zステージ
[ LMTシリーズ ]

XYZ

XYZステージ
[ XYZシリーズ ]

TR

トランスファーロッド
[ TRシリーズ ]

2TRW

チャッキングトランスファー
[ 2TRWシリーズ ]

TLV

タイミングリークバルブ
[ TLVシリーズ ]

ILV

インターロックバルブ
[ ILVシリーズ ]

chamber

超高真空チャンバー
 

分析・計測

装置や真空チャンバーに取り付けて、内部の分析・計測を行うユニット群です。
ご使用にあたり真空度などチャンバー側に制約がある場合があります。

LPM

シングルラングミュアプローブ
[ LPMシリーズ ]

MLPM

マルチポイント
ラングミュアプローブ

BFM

ビームフラックスモニター
[ BFM-2F01 ]

RHEED

RHEEDシステム
 

SCREEN

RHEEDスクリーン
[ SGシリーズ ]

サービス

ordermade

オーダーメイド

mainte

メンテナンス・改造

isetsu

各種装置移設

itaku

研究開発受託業務・コンサルティング

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