実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社 小型RFプラズマ源

 



小型RFプラズマ源 SRPS-101

小型RFプラズマ源 SRPS-101

概要

放電時の様子

放電時の様子(石英放電管より観察)
左:窒素プラズマ 右:Airプラズマ

この小型プラズマ源は、試料をクリーニングする目的で開発した「誘導結合型小型プラズマ源」です。
独自の手動マッチング回路により、安定したプラズマ発生が可能となり、電子顕微鏡などに搭載することで試料の清浄化や高精度な分析、また成膜アシストなどにもご使用頂けます。
プラズマ室は石英製になっており、無電極放電により金属汚染の少ないプロセスが可能です。
活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、クリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることが可能です。
マイクロ波プラズマ源とのプラズマ密度や給電方法等の違いについては マイクロ波プラズマ源とRFプラズマ源の違い① をご覧下さい。

特徴

  1. 専用設計により小型化を実現しています。
  2. 専用のマッチング機構により、操作が簡単であり、長時間安定した動作が可能です。
  3. 動作圧力は0.4Pa(3mTorr)~400Pa(3Torr)です。Air、Ar (N2、O2)
  4. 空冷仕様になっており冷却水は不要なため、既設装置等へ気軽に取り付けられます。
  5. 光ファイバーにより高精度の プラズマ発光分光 などが可能です。
  6. Heリーク量 1.0×10-11[Pa・m3・s-1]以下(Oリングや石英からの透過は除く)

仕様

本体仕様

型式 SRPS-101
RF出力 0~100W 13.56MHz ± 1kHz
整合器 手動整合器
ベーキング温度 最高 150℃ (ケーブル、整合器部分を除く)
プラズマ励起方法 コイル誘導結合 (ICP)
放電室材質 透明石英製
最大出射口径 φ20mm
ガス導入系 1/4 VCRTM オス または 1/4 SwagelokTM
冷却方法 強制空冷
接続フランジ NW40 または CF70
質量 約3kg

外観寸法図

RF電源仕様

型式 RP101
電源入力 AC100V 50/60Hz
最大消費電力 200W
出力周波数 13.56MHz ± 1kHz
出力電力 5~100W
出力インピーダンス 50Ω (BNCコネクター)
リモート出力制御 0~5V DC (オプション)
出力表示モニタ出力 デジタル表示 0~5V DCリニア出力 (オプション)
冷却方法 強制空冷
保護機能 過負荷保護機能
高反射による出力制限
外部インターロック
質量 2.7kg
標準添付品 出力ケーブル (5m)、電源ケーブル (3m)

標準構成

オプション

プラズマ源 バリアブルリークバルブ、MFC ガス導入系に制御機器が増設可能です。
ガス種、ガス流量などご注文時にご相談下さい。
分光器 放電スペクトルをモニターします。
RF電源 入力200V 入力電源を200Vでご使用の場合はご指定ください。
ケーブル ケーブル延長
※ご注文時お問い合わせ下さい。
電源本体、整合器間の出力、コントロールケーブルの延長

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。