放電時の様子(石英放電管より観察)
左：窒素プラズマ 右：Airプラズマ
この小型プラズマ源は、試料をクリーニングする目的で開発した「誘導結合型小型プラズマ源」です。
独自の手動マッチング回路により、安定したプラズマ発生が可能となり、電子顕微鏡などに搭載することで試料の清浄化や高精度な分析、また成膜アシストなどにもご使用頂けます。
プラズマ室は石英製になっており、無電極放電により金属汚染の少ないプロセスが可能です。
活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、クリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることが可能です。
マイクロ波プラズマ源とのプラズマ密度や給電方法等の違いについては、マイクロ波プラズマ源とRFプラズマ源の違い①をご覧下さい。
| 型式 | SRPS-101 |
| RF出力 | 0～100W 13.56MHz ± 1kHz |
| 整合器 | 手動整合器 |
| ベーキング温度 | 最高 150℃ (ケーブル、整合器部分を除く) |
| プラズマ励起方法 | コイル誘導結合 (ICP) |
| 放電室材質 | 透明石英製 |
| 最大出射口径 | φ20mm |
| ガス導入系 | 1/4 VCRTM オス または 1/4 SwagelokTM |
| 冷却方法 | 強制空冷 |
| 接続フランジ | NW40 または CF70 |
| 質量 | 約3kg |
| 型式 | RP101 |
| 電源入力 | AC100V 50/60Hz |
| 最大消費電力 | 200W |
| 出力周波数 | 13.56MHz ± 1kHz |
| 出力電力 | 5～100W |
| 出力インピーダンス | 50Ω (BNCコネクター) |
| リモート出力制御 | 0～5V DC (オプション) |
| 出力表示モニタ出力 | デジタル表示 0～5V DCリニア出力 (オプション) |
| 冷却方法 | 強制空冷 |
| 保護機能 | 過負荷保護機能 高反射による出力制限 外部インターロック |
| 質量 | 2.7kg |
| 標準添付品 | 出力ケーブル (5m)、電源ケーブル (3m) |
| プラズマ源 | バリアブルリークバルブ、MFC | ガス導入系に制御機器が増設可能です。
ガス種、ガス流量などご注文時にご相談下さい。 |
| 分光器 | 放電スペクトルをモニターします。 | |
| RF電源 | 入力200V | 入力電源を200Vでご使用の場合はご指定ください。 |
| ケーブル | ケーブル延長 ※ご注文時お問い合わせ下さい。 |
電源本体、整合器間の出力、コントロールケーブルの延長 |
規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。
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