実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社 技術関連ブログ2018

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2018.02.06[ 小型RFプラズマ源 SRPS-101 ]

いつも弊社のウェブサイトにご訪問いただき、誠にありがとうございます。
今回は、新製品の「小型RFプラズマ源」のご紹介です。

SRPS-101
(小型RFプラズマ源 SRPS-101)

本システムは、試料をクリーニングする目的で開発した、「誘導結合型小型プラズマ発生源」です。
独自の手動マッチング回路により、安定したプラズマ発生が可能となり、電子顕微鏡等に搭載することで、試料の清浄化や高精度な分析を可能とします。
RF電源は、高効率電子回路により、コンパクトで省電力を実現しています。

SRPS-101本体の主な仕様 (SRPS-101とは、Small RF Plasma Source 100W 01号機の意味です。)
項目 仕様および内容 備考
接続フランジ KF(NW)40 / CF70
放電管 φ20mm石英放電管
RF導入方式 誘導結合方式(ICP)
動作圧力 0.4Pa(3mTorr) ~ 400Pa(3Torr) Air,Ar (N2,O2)
プラズマ確認 石英放電管により、放電状態を観察可能 プラズマ分光も可
ガス導入ポート 1/4 swagelok VCR1/4 可
冷却 ファンによる強制冷却

ガス種により安定動作圧力は変動しますが、幅広い圧力範囲でご使用頂けます。
また、お客様より『実験内容がかわり、ガス種を変更したい。』などの要望を頂きます。
ガス種、圧力、取り付け装置を変更すると、反射波が取り切れない、安定放電が難しくなるといった場合には、マッチングボックス内の調整が必要となります。
不整合状態(マッチングが合わない状態)で長時間の運転を行うと、異常発熱などを引き起こす場合があります。必ず反射が入射の10%以下になるように調整が必要となります。
放電中は放電管から紫外線が発生しますので、注視しないで下さい。仕様条件によりオゾン臭がある場合は、局所排気の構築をお勧めします。

RF電源の主な仕様
項目 仕様および内容 備考
サイズ 202×97×210 ハーフラックサイズ
RF出力範囲 5~100W
周波数 13.56MHz
電源 AC100V 50/60Hz 200W AC100 1φ2A コンセント接続

この小型RFプラズマ源はパワーも本体も小さいですが、小さいからこそ設置場所を選ばず、持ち運びが楽なので様々な装置での実験が可能です。
CVDプロセス等のアシストに直ぐ実験出来るのでは?など、ご検討頂けるので無いでしょうか。
当然、ご使用条件に合わせたカスタマイズも可能です。

また、小型プラズマ源と言えば、弊社には 片手に収まる 超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201 のラインアップもございます。
放電管はアルミナ材を使用しており、アルゴン、窒素、酸素、フッ素系のガスにも対応しています。
プラズマ密度、動作圧力にも違いが御座いますので、詳細はお問い合わせ下さい。

弊社では、新規デバイス開発のお手伝いが主な業務となっており、装置およびコンポーネントもお客様のご希望仕様に合わせたゼロからの設計が多くなっております。
安全第一、操作性、メンテナンス性、装置安定稼働を考慮し、ご提案して参ります。

(営業技術部 T.O)