アリオス株式会社 マルチポイントラングミュアプローブ測定システム

マルチポイントプローブ

マルチポイントラングミュアプローブ測定システム

概要

ラングミュアプローブ方式により、プラズマパラメーターを多点で測定するシステムです。 ターゲットあるいはサンプル上の各種プラズマパラメーター分布測定に便利です。
マルチポイント対応の処理ソフトウェアLMP-100SCANにより効率よく測定ができます。
プラズマ測定や診断に関するQ&Aは相談室:ラングミュアプローブに掲載しております。併せてご覧下さい。
ラングミュアプローブシステム ご購入までの流れでお困りの際は、お気軽にお問い合わせ下さい。

特徴

  1. マルチポイントラングミュアプローブにより多点でのプラズマパラメーター測定が可能になるため、これらの分布が容易に測定できます。
  2. 測定点数を 1~100点まで自由に選択することが可能です。
  3. 選択した測定点数に応じて、多点切換ユニットも2種類用意しております。
  4. ソースメジャーユニットは 4種類の中から選択できます。(お手持ちの同機種もご使用頂けます)

システム構成

マルチポイントラングミュアプローブ自動測定構成

装置構造やシステム全体図、 このシステムで得られたパラメータ分布については資料館:9×9 マルチポイントラングミュアプローブをご覧下さい。

仕様

プローブ点数や形状はお客様の仕様に合わせて設計製作致します。是非お問い合わせ下さい。


処理ソフトウェア  LMP-100SCAN

概要

マルチポイントラングミュアプローブから自動的にデータを取り込み、プラズマパラメーターの分布測定を行う処理ソフトウェアです。
詳しくは資料館:LMP-100SCANをご覧下さい。

プラズマパラメーター自動処理ソフトウェア  LMP-100SCAN01 ラングミュアプローブ 処理ソフトウェアLMP-100SCAN

特徴

プラズマパラメーターの算出は自動、手動での解析が選択できます。
自動算出では画像解析の技術を応用したカーブフィッテングを採用し、高い精度でのプラズマ密度、電子温度、プラズマ電位及び電子電流の解析を実現しました。 手動算出ではマウス操作によるフィッテング修正も可能で、I-Vグラフ上にカーブを合わせて2直線を引くことで解析できます。

仕様

PC動作環境 OS : Windows7以降搭載機種
CPU : Celeron 2GHz以上(Core i3 3.3GHz相当を推奨)
ディスプレイ解像度 : 1024×768 ピクセル以上
メモリ : 1GB以上 (2GB以上を推奨)
HDD 空き容量 : 2GB以上
ポート : USB2.0×2
解析可能なプラズマパラメータ プラズマ密度 [個/cm3] (1×108~1×1013個/cm3)
電子温度 [eV] (10eV まで)
電子エネルギー分布関数 (EEDF) [1/(eV・cm3)]
飽和イオン電流 [mA] (使用電源に依存※)
飽和電子電流 [mA] (使用電源に依存※)
プラズマ電位 [V] (使用電源に依存※)
※弊社推奨電源GS610 では電圧±100V、電流±500mA
ソフト機能 自動測定
測定点自動切換
最大測定点数100点 (10×10)
データファイル出力 (CSV 形式)
3D分布グラフ表示 (2D 表示も可能)
電圧電流特性リアルタイムモニタ
電極面積設定
日本語表記

参考資料

製品カタログ
ダウンロード(PDF:420KB)
取扱説明書
ダウンロード(PDF:5,530KB)

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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