アリオス株式会社 ビューポートシャッター

ビューポートシャッター SFシリーズ

概要

蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス、有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止します。

真空容器は通常ステンレスで製作しますので、中を見ることができません。中を見るためには、ビューポートという覗き窓を使います。
ところが、成膜等のプロセスを行っていると、膜がビューポートに付着し、真空容器内を覗くことができなくなってしまいます。 付着した膜を取り除くためには、大気開放後、膜をこそげ落とし、場合によっては薬品を使います。 さらに強固な膜で剥離が不可能な場合、ビューポートを取り替えねばならないこともあります。
そのため、本機のようなビューポートシャッターを取り付け、観察しない時はシャッターを閉じてビューポートに成膜されるのを防ぎます。

ビューポートシャッターから覗いた蒸着の様子をこちらに掲載していますので、見え方等ご参考にして頂ければと思います。
また、排気系にターボ分子ポンプをご利用の場合、ビューポートの破壊のような事故に十分お気を付け下さい。

特徴

1. コンフラットフランジ仕様により、MBE装置など、各種超高真空装置に使用可能です。
2. 回転導入機も200℃ベーキング対応のRFTシリーズを使用しており、高温ベーキングが可能です。
3. φ70CF～φ203CFまで対応しています。
4. ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果があります。
5. オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能です。
6. 簡単な組み替えで開閉方向を変更できます。
7. 特殊サイズフランジの製作も可能です。ご相談下さい。

仕様

参考資料

オプション

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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