アリオス株式会社 MBE装置


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MBE装置01

MBE装置

アリオスは、MBE装置の製造に20年以上の実績を有するプロ集団です。
アリオスのMBE装置は、基板サイズ1”～6”、Ⅲ－Ⅵ族に対応。お客様の要求仕様に応じた、きめ細やかな設計・製造を行います。
また、分子線セル、RHEED、BFM、基板加熱機構等の主要部品から制御ユニットまで、一貫して自社にて製造しています。 これにより、短納期・高品質の特注品製作が可能です。
装置のご相談はもちろん、メンテナンス・改造などMBE装置でお困りのことがありましたらご相談ください。

特徴

  1. クリーンな真空での成膜が可能
    ― アリオスの超高真空技術に加え、分子線セル、基板加熱機構等の主要部品の加熱脱ガス処理を徹底しています。
  2. 選べる豊富なオプション
    ― RHEED、BFM、ラジカル源など豊富にご用意しています。
  3. 排気操作、プロセス操作の自動運転
    ― タッチパネル、シーケンサーによる自動運転が可能です。
  4. 搬送系の利便性
    ― トロッコ搬送、トランスファー搬送に対応できます。また、自動搬送も可能です。
MBE装置02

仕様

排気系 イオンポンプ、ターボ分子ポンプ、TSP、クライオポンプ等、各種ポンプの選択、組み合わせが可能
到達圧力 1×10-8Pa以下(成膜室にて液体窒素導入時)
基板回転加熱機構 最高800℃(高温仕様1000℃)、1"～6"対応可能
分子線セル 標準4～8本取り付け(φ114CF)、5cc～100cc、高温～低温まで各種対応可能
材質 チャンバー本体 ： SUS 304 (又は 304L 又は 316)
液体窒素シュラウド ： SUS 316L
ベローズ部 ： SUS 304
加熱部 ： Mo 及び Ta、Al2 O3 、カーボン
真空内ヒーターリード線 ： Ag (Au、Ni、Al）
用力 単相 ： AC100V、三相 ： AC200V
圧縮空気 (バルブ作動用) ： 0.5～0.7MPa
乾燥窒素 (大気解放用) ： 0.1～0.5MPa
液体窒素 ： 0.05MPa
※標準仕様以外にも、要求仕様に応じ設計製作致します。

参考資料

製品カタログ
ダウンロード(PDF:580KB)

取り付け可能なコンポーネント

RHEED、分子線セル、マイクロ波イオン源 など全てアリオス自社製品のため柔軟な対応が可能です。

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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