真空に関する一般的な項目、規格などが一冊にまとめられています。
フランジや O リング、ICF (日本真空技術株式会社仕様では、UFC と呼称されています。) などの寸法も掲載されており、設計の際には良い参考書です。
真空技術に関し、その原理から装置に至るまで一通りの解説がなされています。 真空装置には、真空容器中にガスを流入させる場合があります。 このとき、容器中の真空度を算定するために コンダクタンスの計算 を行う必要があります。 この本は、そのコンダクタンス説明がわかりやすく書かれています。
真空技術の基本、学生実験の教科書としておすすめ。改版は不明。
真空の教科書。演習問題多数載っています。
原題：Ultrahigh Vacuum Practice(1985) UHV技術が中心です。超高真空
辞典スタイル。サイズも小さく使いやすい。
実務向きの入門書。
入門書です。
「昔(20年前？)はこれが真空技術者の教科書だった。」社長談。
原題：A User's Guide to Vacuum Technology(1980)
入門書です。
我が社に現存するなかでおそらく最も古い参考書
題名のとおり、イオン源に関する技術が一冊にまとめられています。
内容は、どちらかというと原理的な式の導出より”作る、使う”ために必要な技術の解説です。
もし、あなたがイオン源を作ろうと考えていらっしゃるならば、この本は、バイブルのような存在です。
[追記]出版会社は既になくなっているとのことです。石川先生の手元に、何冊かあると伺っておりますので、入手を御希望の場合は、石川先生に直接問い合わせてみて下さい。
[追記2]類似書に下記の本があります。
前書きによれば、大学の専門講義のプリントをまとめたものとのことです。 電子ビーム、イオンビームの発生、ビーム形成、ビーム輸送、固体との相互作用、応用装置の概要などについて書かれています。 イオン源工学のほうが装置例が多いなどより実践的な内容になっていますが、この本もその内容のかなりの範囲をカバーしています。
プラズマについて何か一冊買うとしたら、これを勧めます。 発行年も新しく、最近の技術まで良く書かれています。
マイクロ波の基本的な扱い、プラズマ発生、シミュレーションから、応用に至るまで、多数の著者により網羅的に書かれています。 この本に限らず、著者が実際に実験されていない技術や装置などを論文から拾って記述するのは、 論文には欠点があまり書かれないことから、問題点が隠されてしまう場合が多く、 現場サイドとしてはもどかしさを感じます。いくつかミスプリや、実状にそぐわない記述も見受けられますが、 技術をオーバービューするには、良いのではと思います。
プラズマの物性などについては、詳細な記述があります。最近のプロセスの具体的な話については、 発売年が古いので少ないです。基礎からじっくりと取り組もうという方にお勧め。
半導体以外へのプラズマ応用についての内容が豊富です。 プラズマ中で生じている化学反応についての記述は、ここで紹介している他書にはないほど充実しています。 正直なところ、不勉強な編集子としてはここまでわかってきたのだと驚かされました。特にプラズマ重合については参考書が少ないので、本書は貴重と思います。
プラズマ全般について概観を得ようとする方にはちょうど良いと思います。 式が少ないところも、とりあえず読み通せるという点ではよいかもしれません。 高校の教科書のような感じで、断片的であるものの網羅されています。 あまり内容と関係ないですが、個人的には銀河の挿し絵はちょっと、、、、
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