EMRS-211Qは石英放電管タイプでチャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起ラジカル源です。ラジカル酸化、窒化、水素還元、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。プラズマ源としてもご利用頂けます。
マイクロ波については資料館：マイクロ波、マイクロ波Q＆Aをご覧下さい。
| 型式 | EMRS-211Q |
| 最大出射口径 | 25mm |
| ベーキング | 最大 150℃ (導波管部は最大 60℃) |
| ガス導入系 | φ34CFポート 2系統 |
| 接続フランジ | φ114CF 取付け |
| 冷却方法 | 強制空冷 (冷却水は不要) |
| 点火装置 | 高電圧パルス印加タイプ (自動) |
| 質量 | 4.7kg |
| 型式 | MP-201B |
| 電源入力 | 単相 AC200V±10％ 50/60Hz 又は 単相 AC100V±10％ 50/60Hz (工場出荷時設定) |
| 最大消費電力 | 490W (AC200V)、470W (AC100V) |
| 出力周波数 | 2450MHz ± 50MHz |
| 最大出力電力 | 200W |
| 発振方式 | マグネトロン自励発振 |
| 制御方式 | アノード電流可変 (定電流) 方式 |
| 冷却方法 | 強制空冷 |
| 表示 | アノード電流、入射波、反射波 |
| 出力方式 | N型同軸コネクタ (N－R) |
| 保護機能 | 外部インターロック
最大出力リミッタ (200W) 電源スイッチ併用ブレーカ (5A (200V))、(10A (AC100V)) 上面パネル ・ ドアインターロック マグネトロン過熱防止サーモスイッチ |
| 質量 | 17.5kg (AC200V 仕様)、13.5kg (AC100V 仕様) |
| 標準添付品 | スリースタブチューナー、同軸型出力ケーブル (5m)、イグナイターケーブル (5m)、
ファンケーブル (5m)、オプトケーブル (5m)、AC入力ケーブル (3m)、ローカルコネクタ 1式 |
| 型式 | 3ACCPS2-30 | |
| 電源入力 | 単相 AC90～250V 50/60Hz | |
| 最大入力電流 | 4A | |
| 出力 (2極比率出力) | アクセル電極 -500V 8mA | 比率変更可能 |
| スクリーン電極 2kV 30mA | ||
| 出力電圧 | 0～＋2000V | |
| 出力電流 | 0～30mA | |
| 保護機能 | 外部構成によるインターロック出力短絡保護 | |
| 質量 | 8 kg | |
| その他の機能 | リモート ON/OFF 外部電圧による出力電圧コントロール 電圧電流モニター (アクセル電極は電圧のみ、スクリーン電極はそれぞれ可能) |
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規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。
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