アリオス株式会社 XYZステージ


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XYZステージ

XYZステージ

概要

2つのフランジ間で、それぞれの軸中心のオフセット及び面間距離を可変可能な中空XYZステージです。
簡易型XY機構(SXYシリーズ)との差は、マイクロメーターを搭載しており、精密な位置調整ができます。3軸の移動機構により試料ホルダーや試料加熱機構、各種導入機、その他コンポーネントの位置調整に最適です。

特徴

  1. オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
  2. MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空装置用に最適です。
  3. φ70CF～φ203CF まで対応しています。
  4. X-Y移動はマイクロメーターヘッドとクロスローラーベアリングによる精密移動です。
  5. トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機などと組み合わせることにより、真空内への多軸運動伝達が行えます。

仕様

型式 XYZ70114-50 XYZ70114-100 XYZ114114-50 XYZ114114-100
フランジ1 φ70 φ114
フランジ2 φ114
ストローク量 (z) 50mm 100mm 50mm 100mm
最小内径 φ38mm φ60mm
共通仕様 ベーキング温度 ： 最高 200℃
リーク量 ： 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下
ストローク量 ： X－Y　各 ±10mm
ベローズ内径 ： φ50
材質 ： ベローズﾞ部－SUS 316、その他－SUS 304
※フランジやストローク量変更など、要求仕様に応じて設計製作致します。→お問い合わせ

参考資料

製品カタログ
ダウンロード(PDF:550KB)

外観イメージ

XYZ 114114-50BNC端子付 φ70-152 XYZステージ(特殊仕様)
XYZ 114114-50BNC端子付φ70-152XYZステージ(特殊仕様)

オプション

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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