プラズマの計測・診断には、目的や対象物・条件下に応じて様々な方法があります。
アリオスでは、プラズマ装置メーカーとして長年蓄積したノウハウで「ラングミュアプローブ」と「プラズマインジケータ™」を活用し、お客様のご利用環境に合わせたプラズマ計測システムをご提案いたします。
シングルラングミュアプローブ
ラングミュアプローブ
プラズマに電極（プローブ）を挿入し、直接状態を計測します。
プラズマパラメータから、プラズマ及びプラズマ処理の特性が把握できます。
○単点計測に・・・シングルラングミュアプローブ
○多点計測に・・・マルチポイントラングミュアプローブ
パラメータ算出画面
得られるパラメータ
・プラズマ密度 ・電子温度
・プラズマ電位 ・飽和電子電流
・飽和イオン電流 ・電子エネルギー分布関数（EEDF）
プラズマインジケータ™「PLAZMARK®」
プラズマインジケータ™「PLAZMARK®」
プラズマ中のラジカルやイオンで変色する色材を用いた評価ツールです。
評価対象内に各種形状のインジケータを設置することで、
プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色します。
処理効果が直接評価出来るため、プロセス診断に適しています。
大気圧プラズマ対応の製品もございます。
機差の把握に → 同等品質の生産が可能
工程管理に → 不良低減かつ効率アップ
分布測定に → 処理の均一化
アリオスでは、お客様の装置に合わせたプラズマ計測・診断ツールの選定、プラズマに関するご相談も承っております。
ご不明な点やご質問などございましたら、お気軽にお問い合わせください。
規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。
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